MEMS是最常提及的技术之一。

在之前的文章中，编辑器还详细介绍了MEMS。

为了提高大家对MEMS的理解，本文将基于以下两点介绍MEMS：1.介绍MEMS交流； 2.介绍MEMS加速度计和MEMS陀螺仪之间的区别。

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1. MEMS交换采用微机电技术（MEMS）光学交换。

这种光学开关结构本质上是二维易透镜阵列。

进行光切换时，通过移动光纤的一端或改变透镜的角度，光直接发送或反射到开关的不同输出端。

微电子机械系统技术的使用可以在很小的芯片上排列大规模的机械矩阵，极大地提高了其响应速度和可靠性。

这种光开关相对容易实现，插入损耗低，串扰低，消光比好，偏振和基于波长的损耗低，对不同环境的适应性好，功率和控制电压低，并且具有阻断功能，缺点就是交换速度只能达到毫秒级。

微镜阵列通过静电力或磁力控制微镜元件，这属于微机电系统（MEMS）技术。

如果这些镜元件只能具有打开和关闭的两个状态，则微镜阵列称为二维MEMS。

如果镜面元件可以绕两个轴旋转并停在多个位置，则微镜面阵列称为三维MEMS。

二维微镜阵列是最常用的光学开关方法。

微小的镜面元件位于两根光纤之间。

当开关关闭时，微小的镜面元件将不起作用，从而使光信号从一根光纤传递到另一根光纤。

当开关闭合时，微小的镜面元件通过静电场进行操作。

支撑该元件，以便光信号被反射回去。

交换可以通过光开关阵列来实现。

3D MEMS光交换单元主要由三部分组成：I / O光纤阵列，MEMS微平面镜阵列和折叠式平面镜。

其中，I / O阵列中的每根光纤都与一个准直微透镜相连。

当光束进入光纤阵列时，它会被微透镜准直并照射到MEMS微平面镜阵列中的平面镜上。

反射镜被倾斜控制以将入射光反射到折叠平面镜上。

折叠的平面镜又将光反射到MEMS的另一个微平面镜，并且平面镜将光反射到合适的输出光纤/透镜，从而耦合到输出单模光纤输出。

除光开关外，MEMS技术还可用于DGEF（动态增益均衡滤波器），可变光衰减器，可编程光分插复用模块，动态色散补偿装置等。

广泛的应用和技术的不断成熟使生产成为可能MEMS的成本有望在不久的将来大大降低。

这将真正使仅用于骨干通信领域的昂贵的全光交换系统进入高性能计算机系统，甚至进入普通百姓家。

2. MEMS加速度计和MEMS陀螺仪之间的区别1. MEMS陀螺仪测量角速度2. MEMS加速度是测量线性加速度的MEMS陀螺仪当旋转物体沿径向移动时，MEMS陀螺仪使用科里奥利力切向力。

假设旋转物体的径向速度为Vr，则将产生切线科里奥利加速度。

MEMS加速度计的测量值在较长的时间段内是正确的，但是由于存在信号噪声，因此在较短的时间段内会出现误差。

陀螺仪在短时间内会更准确，并且会漂移，并且在较长时间内会出现误差。

因此，两者都需要（相互调整）以确保正确的航向。

现在，用于姿态的通用惯性应用（例如IMU（惯性测量单元））由三轴陀螺仪和三轴加速度计组成。

详细说明：MEMS加速度计的原理具有成熟技术的MEMS加速度计分为三种类型：压电式，电容式和热式。

压电MEMS加速度计利用压电效应。

内部有一个由刚体支撑的质量。

当运动时，质量将产生压力，刚体将变形，加速度将转换为电信号输出。